Sử dụng công nghệ lắng đọng plasma hồ quang cathode. Lắng đọng plasma hồ quang catốt là một công nghệ lắng đọng màng mỏng tương đối mới, tương tự về nhiều mặt với mạ ion. Ưu điểm của nó: tốc độ ion hóa cao trong dòng hạt phát ra và các ion bị ion hóa này có động năng cao (40-100eV).
Nhiều ưu điểm của lắng đọng chùm ion, chẳng hạn như độ bám dính được cải thiện, mật độ trạng thái tăng lên và khả năng phản ứng cao đối với sự hình thành màng hợp chất, đều được phản ánh trong quá trình lắng đọng plasma hồ quang catốt. Sự lắng đọng plasma hồ quang catốt có những ưu điểm riêng, chẳng hạn như có thể lắng đọng trên các chất nền có hình dạng phức tạp hơn, với tốc độ lắng đọng cao, độ đồng đều lớp phủ tốt, nhiệt độ bề mặt thấp và dễ dàng chuẩn bị các hợp chất hoặc hợp kim với tỷ lệ hóa học lý tưởng. .
Vật liệu cực âm bị bay hơi bởi quá trình bay hơi do mật độ dòng điện cao và sự bay hơi thu được bao gồm các electron, ion, nguyên tử và hạt ở pha khí trung tâm. Tại điểm cực âm của hồ quang, vật liệu gần như bị ion hóa ngay lập tức. Các ion được phát ra theo phương gần như vuông góc với bề mặt catôt. Khi các ion crom năng lượng cao tiếp xúc với nitơ, chúng sẽ ngay lập tức trải qua phản ứng hóa học và trở thành khí. Phân tử crom nitrit.
